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產(chǎn)品簡介 SY-L系列(L30A\L30B)型 砷化鎵拋光液是賽亞稀土實業(yè)有限公司生產(chǎn)的新一代水溶性高純膠體漿料。該產(chǎn)品在實際應用中憑借高濃度、高稀釋比例、低金屬離子污染等卓越的性能得到了客戶的充分肯定,主要用于砷化鎵晶片的粗拋和精拋工藝中。
主要特點 SY-L系列(L30A\L30B)型 砷化鎵拋光液具有金屬雜質(zhì)沾污極少、活性強、表面張力低、易清洗、拋光速率高、拋光鏡面粗糙度低等特點,非常適用于集成電路用砷化鎵晶片的拋光工藝。在拋光中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比,均能達到最佳使用效果。與美國和日本的同類產(chǎn)品相比,該產(chǎn)品采用無金屬離子、易溶于水的螯合劑,有效控制晶片表面的各種沾污,主要參數(shù)指標上均能滿足IC要求。
主要用途和規(guī)格 SY-L系列(L30A\L30B)型拋光液主要用于砷化鎵晶片的高質(zhì)量拋光。L30A型拋光液用于砷化鎵晶片的粗拋光,為堿性試劑。L30B型拋光液用于砷化鎵晶片的精拋光,為酸性試劑。
L30A 型(粗拋漿料) 基本參數(shù)
PH值
比重
粘度(稀釋后)
磨料粒徑
磨料濃度
8.5~9.5
> 1.1
< 3.0(mPa.s)
60~80(nm)
> 35%
L30B型(精拋漿料) 基本參數(shù)
1.5~3.0
< 2.2(mPa.s)
30~50(nm)
> 15%
使用方法 根據(jù)工藝將拋光原漿料按一定比例與去離子水混合后使用,L30A型漿料用于砷化鎵晶片的粗拋光;L30B型漿料用于砷化鎵晶片的精拋光。建議拋光原漿料與去離子水比例為1:10。
運輸及保存 1、運輸及存放時應避光,以避免漿料變質(zhì)。 2、存放溫度為5℃~50℃,25℃為最佳存放溫度。 3、保質(zhì)期一年,建議在半年內(nèi)使用。 4、避免引入強電解質(zhì)。 5、避免金屬與顆粒的污染。
包裝規(guī)格 25Kg/桶
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