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產品簡介 SY-Z01型鍺拋光液是賽亞稀土實業有限公司生產的新一代水溶性高純膠體漿料。該產品在實際應用中憑借高濃度、高稀釋比例、低金屬離子污染等卓越的性能得到了客戶的充分肯定,主要用于鍺晶片的粗拋和精拋工藝中。
主要特點 SY-Z01型鍺拋光液具有金屬雜質沾污極少、活性強、表面張力低、易清洗、拋光速率高、拋光鏡面粗糙度低等特點,非常適用于鍺晶片的拋光工藝。在拋光中根據需要可以優化不同配比,均能達到最佳使用效果。該產品采用無金屬離子、易溶于水的螯合劑,有效控制晶片表面的各種沾污,主要參數指標上均能滿足IC要求。
主要用途和規格 主要用于鍺晶片的高質量拋光。
基本參數
PH值
比重
粘度(稀釋后)
磨料粒徑
磨料濃度
10.0~12.0
> 1.1
< 5.0(mPa.s)
50~70(nm)
> 35%
使用方法 1、可根據實際工藝要求改變配比 2、建議拋光溫度為40℃-55℃。
運輸及保存 1、運輸及存放時應避光,以避免漿料變質。 2、存放溫度為5℃~50℃,25℃為最佳存放溫度。 3、保質期一年,建議在半年內使用。 4、避免引入強電解質。 5、避免金屬與顆粒的污染。
包裝規格 25Kg/桶。
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